PHEMOS-X是一款通過(guò)檢測(cè)由芯片缺陷導(dǎo)致的微光信號(hào)和熱信號(hào)來(lái)精準(zhǔn)定位半導(dǎo)體器件失效位置的高分辨率微光顯微鏡系統(tǒng)。
PHEMOS-X可與探針臺(tái)搭配使用,您可以通過(guò)您已熟悉的方式輕松配置好測(cè)試條件。
通過(guò)安裝可選的激光掃描系統(tǒng)可得到高分辨率的樣品圖像,單獨(dú)或同時(shí)搭配不同類型的探測(cè)器使得滿足EMMI、OBIRCH、Thermal等多種分析技術(shù)的需求成為可能。
PHEMOS-X提供多應(yīng)用場(chǎng)景和測(cè)試任務(wù)的分析能力,通過(guò)定制化的探針臺(tái),可用測(cè)試板、針卡等多種方式進(jìn)行測(cè)試,支持最大12寸晶圓。
其他型號(hào):iPHEMOS-MPX、DualPHEMOS-X
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