| 尺寸 |
寬×高×深（毫米）：1400 × 620 × 1410 |
| 光學(xué)顯微鏡 |
標(biāo)配白光反射照明的開放空間顯微鏡，相機(jī)、5×、10×、100×物鏡?？蛇x的電動物鏡轉(zhuǎn)塔。 |
| 光譜范圍 |
從樣品到檢測器的標(biāo)準(zhǔn) 200 nm - 2200 nm（消色差，無需更換光學(xué)元件）。 |
| 成像光譜儀 |
? 焦距：800毫米。
? 532 nm 激發(fā)波長，1800 gr/mm時的光譜分辨率FWHM≤ 0.6 cm-1；3000 gr/mm時的光譜分辨率FWHM≤ 0.3 cm-1
? 光譜穩(wěn)定性 RMS： < 0.02 cm-1；RMS 測量 Si 520 cm-1線。
? 配備開路電極CCD（標(biāo)配）、可選EMCCD、可選InGaAs陣列探測器（最多3個探測器）。
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| 空間分辨率 |
XY橫向分辨率<0.5μm；Z 軸分辨率< 1.5 μm。 |
| 300 mm × 300 mm 電動載物臺 |
XY高精度編碼電動載物臺（X = 300 mm，Y = 300mm），重復(fù)精度≤1 μm；精度 = 1 μm;分辨率（編碼器）= 50 nm；最小電機(jī)步長 = 10 nm。
Z 規(guī)格：分辨率（最小步長）= 0.01 μm。
提供 4“ （100 mm）、6” （150 mm）、8“ （200 mm） 和 12” （300 mm） 尺寸晶圓的支架。真空兼容晶圓支架。 |
| 激光器 |
用戶可選：266 nm、325 nm、355 nm、405 nm、458 nm、473 nm、532 nm、633 nm、660 nm、785 nm 和 1064 nm。最多 6 個電動。 |
| DuoScan? |
用于快速激光掃描和宏觀光斑成像的 DuoScan? 技術(shù)（典型宏觀光斑尺寸為 30 μm × 30 μm，物鏡為 50×）。 |
滬公網(wǎng)安備 31010502005662號
